讓大家失望了！光刻機工廠？NO!

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原標題：讓大家失望了！光刻機工廠？NO!

關鍵字：報告,光刻,光源,電子束,機工

文章來源：人工智能學家

內容字數：1805字

內容摘要：來源：EETOP近日來自眾多行業外自媒體的消息稱，清華大學EUV項目把ASML的光刻機巨大化，實現了光刻機國產化，并配圖稱該項目已在雄安新區落地。對此，中國電子工程設計院有限公司（下稱中國電子院）官微9月18日發聲，稱該項目并非網傳的國產光刻機工廠，而是北京高能同步輻射光源項目（HEPS）！HEPS坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國家“十三五”重大科技基礎設施。它是我國第一臺高能量同步輻射光源，也是世界…

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