突發(fā)!中國搶購DUV光刻機(jī)遭美攔截!ASML證實(shí)
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原標(biāo)題:突發(fā)!中國搶購DUV光刻機(jī)遭美攔截!ASML證實(shí)
關(guān)鍵字:半導(dǎo)體,設(shè)備,報告,光刻,半導(dǎo)體設(shè)備
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在荷蘭限制高端芯片制造設(shè)備出口的新禁令2024年1月全面生效之前,荷蘭半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥(ASML)已應(yīng)美國總統(tǒng)拜登的要求,取消部分設(shè)備出貨大陸。
根據(jù)ASML官網(wǎng)2024年1月1日聲明,荷蘭撤銷了NXT:2050i和NXT:2100i的部分出貨許可,影響到少數(shù)大陸客戶。ASML補(bǔ)充,認(rèn)為此事不致影響財務(wù)前景。圖源:ASML官網(wǎng)
知情人士說,ASML本已取得向大陸出口三臺頂級深紫外光微影設(shè)備(DUV)的出口許可,但美國官員與ASML進(jìn)行接觸,要求他們立即停止發(fā)貨。ASML光刻機(jī)限制升級光刻是芯片制造的重要環(huán)節(jié)。以光源波長劃分,光刻機(jī)分為UV(紫外線)、DUV(深紫外線)、EUV(極紫外線),理論上7納米及以下的先進(jìn)芯片制程工藝只能通過EUV實(shí)現(xiàn)。
作為半導(dǎo)體產(chǎn)品制造的重要工具,自2019年起,近幾年來,半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)先國家美日荷三國針對半導(dǎo)體設(shè)備的管制正步步升級。資料:日經(jīng)新聞網(wǎng)、ASML官網(wǎng)
制圖:芯師爺
具體到本次限制,荷蘭2023年6月宣布,從2023年9月1日起限制部分先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備出口。DUV設(shè)備是ASML的第二級產(chǎn)品線,其最先進(jìn)的極紫外(
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