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原標(biāo)題：性創(chuàng)新！這個(gè)成像技術(shù)登上?Nature！
關(guān)鍵字：射線,晶體管,報(bào)告,納米,技術(shù)
文章來源：人工智能學(xué)家
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內(nèi)容摘要：

來源：納米人研究背景科學(xué)、醫(yī)學(xué)和工程領(lǐng)域的進(jìn)步依賴于成像領(lǐng)域的突破，特別是從集成電路或哺乳動(dòng)物大腦等功能系統(tǒng)獲取多尺度三維信息。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)通常需要結(jié)合基于電子和光子的方法。電子顯微鏡通過對表面層的連續(xù)破壞性成像提供納米級分辨率，而疊層X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描則提供非破壞性成像，最近已在小體積內(nèi)實(shí)現(xiàn)了低至7納米的分辨率。關(guān)鍵問題然而，多尺度三維信息的獲取主要存在以下問題：
1、目前的成像手段均存在較大的局限性
SEM僅探測樣品表面，并且對表面充電很敏感，而TEM僅對薄切片有效。對于3D成像，要克服電子穿透力差的問題，TXM實(shí)現(xiàn)高分辨率需要納米級的硬件穩(wěn)定性和高數(shù)值孔徑透鏡。此外，許多樣品類型由于與X射線的相互作用較弱，因此幾乎沒有吸收對比度。
2、TXM相位成像增加了實(shí)驗(yàn)的復(fù)雜性且降低了分辨率
相位成像技術(shù)可以克服吸收對比度差的問題，但使用TXM進(jìn)行相位成像需要額外的硬件，這增加了實(shí)驗(yàn)的復(fù)雜性，降低了分辨率并降低了光收集效率，10 nm以下的TXM成像可能僅限于具有出色抗輻射性的樣本。新思路有鑒于此，瑞士維利根保羅謝勒研究所Tomas Aidukas、Mirko Holler等人實(shí)現(xiàn)了突

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