微電子加速邁向后摩爾時代！復旦大學梅永豐課題組集成 DNN 與納米薄膜技術，精準分析入射光角度

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原標題：微電子加速邁向后摩爾時代！復旦大學梅永豐課題組集成 DNN 與納米薄膜技術，精準分析入射光角度
關鍵字：納米,探測器,光電,應變,有限元
文章來源：HyperAI超神經
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作者：哇塞
編輯：李寶珠，三羊
復旦大學材料科學系梅永豐教授課題組，提出了一種多級準靜態有限元分析法，并基于此設計構筑了六類硅/鉻納米薄膜組裝三維微結構及相應的三維光探測器，充分驗證了該技術的良好通用性和工業實踐性。「二維納米膜自組裝成三維微結構」被認為是制造下一代微電子器件的重要途徑，對于即將到來的先進電子和光電子應用至關重要。然而，二維納米膜最終幾何形狀的形成受到蝕刻軌跡、化學反應、高寬比以及其他復雜因素影響，導致自組裝器件在制造過程中難以提高產品良率和成品率，嚴重阻礙了其從實驗室真正走向工業應用。
為了對預應變的納米膜結構進行準確的形態預測和設計指導，科學家們在長達百年的時間里設計開發了許多分析和數值方法。其中，有限元建模 (finite element modeling, FEM) 可以直觀地模擬和預測納米膜釋放后的行為，并在近年被研究人員用于研究和模擬納米膜的自滾過程。不過從結果來看，多數實驗只滿足于特定構造形成或局部分析，仍缺乏廣泛的適用性和準確的邊界條件模型。
針對于此，復旦大學材料科學系梅永豐教授課題組，近日在「Nature Communications」上發表了題為「

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